上傳時(shí)間：2026/7/24 16:14:36 來源：易買儀器網(wǎng) 點(diǎn)擊：7
在半導(dǎo)體制造的精密世界中，真空環(huán)境是芯片光刻、薄膜沉積、離子注入等核心工藝的基礎(chǔ)保障。臨海譚氏推出的T系列雙級(jí)旋片式真空泵，憑借其高可靠性、低振動(dòng)、耐腐蝕及智能防護(hù)設(shè)計(jì)，已成為半導(dǎo)體設(shè)備制造商與晶圓廠信賴的真空解決方案，為良率提升與工藝穩(wěn)定性提供堅(jiān)實(shí)支撐。
一、高精度抽速匹配，滿足多制程真空需求
半導(dǎo)體制造不同環(huán)節(jié)對(duì)真空度與抽速要求差異顯著。T系列提供從T8D到T90D的完整型號(hào)矩陣，50Hz名義抽速覆蓋8m3/h至90m3/h，可靈活適配前道清洗、CVD/PVD鍍膜、刻蝕等不同設(shè)備需求。其關(guān)氣鎮(zhèn)極限分壓強(qiáng)低至5×10?2Pa，確保在高真空腔體中實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定抽氣，滿足先進(jìn)制程對(duì)潔凈度與均勻性的嚴(yán)苛要求。
二、耐腐蝕材料與防返油設(shè)計(jì)，保障工藝純凈度
半導(dǎo)體工藝中常涉及腐蝕性氣體（如Cl?、SF?）與水蒸氣，T系列泵體內(nèi)部采用耐腐蝕材料及工藝，有效抵抗化學(xué)侵蝕，延長設(shè)備壽命。內(nèi)置主動(dòng)防返油閥設(shè)計(jì)，可在停機(jī)瞬間阻斷油液回流，避免油污污染真空腔體與晶圓表面，從源頭杜絕因油污染導(dǎo)致的良率損失。
三、可調(diào)氣鎮(zhèn)與強(qiáng)制供油，適應(yīng)復(fù)雜工況
針對(duì)不同工藝對(duì)水蒸氣排出量的差異化需求，T系列配備可調(diào)節(jié)氣鎮(zhèn)閥，精準(zhǔn)控制水蒸氣抽除能力（最高達(dá)1200g/h），避免水汽凝結(jié)影響薄膜質(zhì)量。同時(shí)，恒定穩(wěn)壓的強(qiáng)制供油結(jié)構(gòu)確保在高壓強(qiáng)下仍能低噪音、穩(wěn)定運(yùn)行，減少振動(dòng)對(duì)精密光學(xué)系統(tǒng)與機(jī)械臂的干擾，提升設(shè)備整體可靠性。
四、低維護(hù)成本與專利加持，降低運(yùn)維壓力
T系列零部件數(shù)量少，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡潔，大幅簡化后期維護(hù)保養(yǎng)流程。四項(xiàng)專利成果轉(zhuǎn)化應(yīng)用，涵蓋氣路優(yōu)化、密封結(jié)構(gòu)與潤滑系統(tǒng)，進(jìn)一步提升運(yùn)行效率與耐用性。搭配可選KF25/KF40油霧過濾器，可有效攔截排氣中的油霧顆粒，保護(hù)后端排氣系統(tǒng)與環(huán)境，符合半導(dǎo)體工廠對(duì)潔凈排放的高標(biāo)準(zhǔn)要求。
五、廣泛適配半導(dǎo)體生態(tài)，賦能國產(chǎn)替代
從實(shí)驗(yàn)室研發(fā)到量產(chǎn)線部署，T系列已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備制造、空間模擬測(cè)試、真空鍍膜等環(huán)節(jié)。其緊湊尺寸（最小520×175×285mm）與輕量化設(shè)計(jì)（最輕33kg），便于集成于各類設(shè)備中；220V/380V雙電壓支持，適配全球主流工業(yè)電源標(biāo)準(zhǔn)，助力國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備走向國際市場。
在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)加速自主可控的背景下，臨海譚氏T系列真空泵以“穩(wěn)定、潔凈、智能”的核心優(yōu)勢(shì)，正成為連接基礎(chǔ)真空技術(shù)與高端制造工藝的關(guān)鍵紐帶，為中國芯的崛起提供不可或缺的底層支撐。
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